1、低温真空泵原理
低温真空泵是依靠低温制冷机获取冷源，利用低温抽气原理获得和维持高真空度的设备。低温抽气是在低温下使被抽空间的气体由低温表面冷凝凝聚、捕集或吸附，从而使被抽空间的压强大大降低，获得并维持洁净无油的高真空状态。
2、低温真空泵系统组成
低温真空泵系统示意图
低温真空泵泵体是低温真空泵的主要部件。由泵壳体、辐射屏、障板、吸附阵组成。其与膨胀机机械连接。通过膨胀机一、二级冷头提供冷量。根据不同使用场景，使辐射屏和障板温度在65K-100K，吸附阵温度在10K-15K，从而达到冷凝吸附气体的作用。
膨胀机是直接获得制冷温度的部件。来自氦气压缩机的高压氦气（制冷工质）由供气接头进入膨胀机，并经膨胀机内部的回热器换热后在冷腔内绝热膨胀制冷，并向膨胀机的一、二级冷头提供冷量。膨胀后的低压氦气经回热器换热后从膨胀机的回气接头回到氦气压缩机内，并被重新压缩处理到高压高纯状态供膨胀机循环使用。
氦气压缩机将制冷工质氦气压缩和纯化后提供给膨胀机使用，压缩氦气时产生的大量热量由冷却水带走。氦气压缩机是为膨胀机服务的。
金属软管两端各连接有自密封接头。它将氦气压缩机和膨胀机连接成一封闭的氦气系统，当低温制冷机系统正常工作时，氦气可以在这个封闭系统内循环往复地压缩和绝热膨胀制冷，不需要补充工质。
温度显示仪是一种温度测量仪器，通过芯座采集数据，显示低温真空泵中辐射屏及二级冷头的温度。????