真空泵的性能
真空度
真空指绝对压力小于环境大气压力的状态(表压力为负值)或小于当地大气质量密度的稀薄气体状态，也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子数密度。
真空度表示真空状态下气体的稀薄程度，即负表压力的绝对值pv。
工程中真空度一般有下述两种表示方法：
(1)以绝对压力p表示,单位为Pa，kPa，MPa，bar，torr。
(2)以相对压力(表压力的绝对值)pv表示，单位为Pa，kPa，MPa，bar，mmHg。
两种表示方法的换算：
pv(kPa)=101.32-p(kPa)
pv(mmHg)=760-p(mmHg)
1torr≈1mmHg
极限真空
极限真空(又称泵的极限压力)指在真空系统中(泵本身除外)，在无漏气和放气的情况下，经过长时间抽气以后，泵入口所能达到的最低稳定压力值。
极限真空度的大小取决于系统本身的漏气或泵工作液体的蒸汽压力。极限真空度决定了泵能有效地使用各种抽气方式的真空度范围的低压界限，是真空泵选型的重要指标。
体积流量
体积流量Qv(又称抽气速率或体积流率,简称抽速)指单位时间内，真空泵吸入口处在特定压力和温度状态下的气体体积量，单位是m3/h，m3/min，m3/s。
启动压力
真空泵的启动压力表示泵能够无损启动并获得抽气作用的泵入口压力。此值对不同的泵有较大差别。有些泵在大气压力下能启动，有些泵必须在一定的真空度下才能启动。
最大工作压力
与最大气体流量对应的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不被破坏。
最大排气压力
最大排气压力是真空泵正常工作所允许的排气压力。当泵出口压力超过此值时，泵便失去抽气能力。
抽气时间
将真空系统的压力从大气压降低到一定压力所需要的时间。
1.粗真空、低真空下抽气时间计算
在粗真空、低真空下，真空设备本身内表面的出气量与设备总的气体负荷相比，可以忽略不计。因而，在粗真空、低真空情况下计算抽气时间时一般不需要考虑出气的影响。简单的抽气系统由真空室、管道和真空泵三部分组成。
（1）泵的抽速近似常数时的抽气时间计算。
真空设备从压力pi降到p所需要的抽气时间为：
当流导很大(U＞Sp)时，则S≈Sp，此时
t＝2.3V/Slg(pi-po)/(p-po)
当流导为U时，1/S=1/Sp+1/U，则
t＝（1/Sp+1/U）lg(pi-po)/(p-po)
式中，t——抽气时间，s;
V——真空设备容积，L；
S——泵的有效抽速，L/s；
Sp——泵的名义抽速,L/s；
p——设备经t时间的抽气后的压力，Pa;
pi——设备开始抽气时的压力，Pa;
po——真空室的极限压力，Pa;
U——管道的流导，流导表示真空管道通过气体的能力，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差，L/s。
（2）机械泵的抽气时间计算。
真空室用机械泵从大气压开始抽气时，在低真空区域内，机械泵的抽速随真空度升高而下降。其抽气时间用下式计算：
t＝2.3KqV/Splg(pi-po)/(p-po)
若忽略po，则
t＝2.3KqV/Splgpi/p
式中，t——抽气时间，s;
Sp——的名义抽速,L/s；
V——被抽真空设备容积，L；
p——设备经t时间的抽气后的压力，Pa;
pi——设备开始抽气时的压力,Pa;
po——真空设备的极限压力，Pa;
Kq——修正系数，与设备抽气终止时的压强p有关，见下表。
表1Kq值
2.高真空下抽气时间计算
在高真空领域内，真空设备内材料的出气可以忽略时，真空室的抽气时间计算与低真空抽气计算相同。由于高真空泵抽速较大，这段时间很短。实际上高真空的抽气时间，主要取决于材料出气。
在刚开始抽气的几十小时内，材料出气率是变量，因而真空室的总出气量随抽气时间而衰减。计算到进某一压方所需的时间由总出气量和泵(或机组)的有效抽速的比值决定。一般可用查材料出气率曲线和绘图方法进行计算。